ESC(Electro-Static Chuck) Repair
(주)동탄이엔지는 총 20개의 세부 단계로 구성된 작업표준서를 기준으로 체졔적인 작업프로세스를 수행합니다. 이를 도식화한 Repair 표준 프로세스입니다.
| Process No. | Plate Type | Coating Type |
|---|---|---|
| 0단계 | 제품 입고 : 입고 제품의 확인 | |
| 1단계 | 손상정도 분석 및 평가 / Plate Type 결정 : 제품의 손상 정도를 분석 및 평가하고 Plate Type에 따른 공정계획 수립 | |
| 2단계 | 플레이트 디본딩 : 본딩 결합부의 해제 | 코팅 박리 : 기존 코팅 박리진행 |
| 3단계 | 플레이트 본딩 : 플레이트 결합부의 본딩 | 용사 코팅 : 신규 용사 코팅 적용 |
| 4단계 | 제품 가공 : 가공을 통해 적정 공정의 조건을 구성 | |
| 5단계 | 패턴 형성 : 정전척의 기능적 패턴 형성 | |
| 6단계 | 제품 세정 : 불순물이나 이물질 제거 | |
| 7단계 | 제품 검증 및 평가 : 품질을 검증하고 표준 부합 여부를 체크 | |
| 8단계 | 제품 포장 : 완성 제품 포장 | |
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